Bestimmung der Wärmeleitfähigkeit von Dünnschichten mittels TDTR

Die Wärmeleitfähigkeitswerte von Dünnschichten im Nanometerbereich kann bei vielen Materialien stark von deren Bulkwerten unterscheiden. Gerade in der Mikroelektronikbranche sind diese Dünnschichten und deren Fähigkeit Wärme abzuleiten von großer Bedeutung. Für die Charakterisierung solcher Dünnschichtsysteme benötigt man auch spezielle Messverfahren, wie z.B. die Time-Domain ThermoreflectanceThermoreflectance is a method for determining the thermal diffusivity and thermal conductivity of thin films with thicknesses in the nanometer range.Thermoreflectance (TDTR). Die Methodik der TDTR gibt es seit 2019 am MCL und wurde hier in den letzten Jahren optimiert und ihr Einsatzgebiete erweitert, erwähnenswerte Beispiele sind die modulare Eindringtiefe und Sensitvität sowie die Messbarkeit von Materialien mit rauher Oberfläche (poröse Materialien).  

Vortragender: Dipl.-Ing. Markus Krainz, Junior Scientics 3D Integration & Packaging bei Materials Center Leoben Forschung GmbH