광전
실리콘 웨이퍼 - 열물리학적 특성
이 예에서는 실리콘 웨이퍼의 열물리학적 특성을 측정하기 위해 LFA 457MicroFlash®®.
100°C ~ 500°C의 온도 범위에서 열전도율과 열확산도는 지속적으로 감소합니다.
비열 측정은 DSC 204 F1 Phoenix®®를 사용하여 수행했습니다. 데이터 포인트의 표준 편차는 1% 미만입니다.
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이 예에서는 실리콘 웨이퍼의 열물리학적 특성을 측정하기 위해 LFA 457MicroFlash®®.
100°C ~ 500°C의 온도 범위에서 열전도율과 열확산도는 지속적으로 감소합니다.
비열 측정은 DSC 204 F1 Phoenix®®를 사용하여 수행했습니다. 데이터 포인트의 표준 편차는 1% 미만입니다.
