광전

실리콘 웨이퍼 - 유기 오염

이 예에서는 실리콘 웨이퍼를 다음과 같이 측정했습니다. 동시 열 분석기 STA 449F1 Jupiter^®® 와 결합된 질량 분석기 QMSAëolos^® Quadro.

large 샘플(1.6 g)을 _Al2O3 도가니(부피 5 ml)에 넣고 합성 공기 상태에서 10 K/min으로 800°C까지 가열했습니다.
유기 성분의 방출로 인해 700°C 이전에 두 가지 매우 small 질량 손실 단계(0.002% 및 0.008%)가 발생합니다.
명확한 데모를 위해 여기서는 질량 번호 m/z 15, 51, 78만 제시합니다.