하이라이트
나노미터의 두께 범위에서 열확산도를 측정하는 방법
시간 영역 열 반사율 방법
나노미터 두께 범위의 열 확산도 측정 방법
전자 기기의 설계가 크게 발전하고 효율적인 열 관리가 필요해짐에 따라 나노미터 범위에서 정확한 열 확산도/열 전도도 측정이 그 어느 때보다 중요해졌습니다.
일본 국립산업기술종합연구소(AIST)는 이미 90년대 초에 '펄스 광 가열 열반사율 방법'을 개발하여 산업계의 요구 사항에 대응했습니다. 2008년에는 나노초 열반사율 장치인 "NanoTR"와 피코초 열반사율 장치 "PicoTR"를 출시하여 수 10μm의 두께 범위에서 나노미터 범위까지 박막의 열 확산도를 절대적으로 측정할 수 있게 되었습니다.
2020년 10월, PicoTherm은 NETZSCH 그룹에 일본 NETZSCH 의 자회사로 합류했습니다. 이제 NETZSCH 는 당사의 LFA 시스템과 결합하여 나노미터 범위의 박막부터 밀리미터 범위의 벌크 재료까지 측정할 수 있는 솔루션을 제공할 수 있게 되었습니다.
전자 기기의 설계가 크게 발전하고 효율적인 열 관리가 필요해지면서 나노미터 범위에서 정확한 열 확산도/열 전도도 측정이 그 어느 때보다 중요해졌습니다.
일본 국립산업기술종합연구소(AIST)는 이미 90년대 초에 '펄스 광 가열 열반사율 방법'을 개발하여 산업계의 요구 사항에 대응했습니다. 2008년에는 나노초 열반사율 장치인 "NanoTR"와 피코초 열반사율 장치 "PicoTR"를 출시하여 수 10μm의 두께 범위에서 나노미터 범위까지 박막의 열 확산도를 절대적으로 측정할 수 있게 되었습니다.
방법
시간 영역 열반사율 방법 - 박막을 위한 레이저 플래시 방법
NanoTR의 최첨단 신호 처리 기술을 통해 고속 측정이 가능합니다. 이 열반사율 장치를 사용하면 펄스 폭이 1ns인 레이저 펄스가 주기적으로(20μs) 시료에 조사됩니다.
결과 온도 반응은 CW 레이저(프로브 레이저)에 적용됩니다. 반복 신호의 고속 통합을 통해 우수한 s/n 비율을 얻을 수 있습니다. 다양한 시료에 대해 소프트웨어를 통해 RF와 FF 구성 간에 쉽게 전환할 수 있습니다.
NanoTR aIST에서 제공하는 박막 열 확산 시간 표준(RM1301-a)에 따라 JIS R 1689, JIS R 1690 및 SI 추적이 가능합니다.
사양
| NanoTR | ||
|---|---|---|
| 펌프 레이저 | 펄스 폭 파장 빔 직경 | 1ns 1550nm 100μm |
| 프로브 레이저 | 펄스 폭 파장 빔 직경 | 연속 785 nm 50 μm |
| 측정 항목 | 열 확산성 및 유출성, 계면 저항 | |
| 샘플 필름 두께 (RF 방식) | 수지 세라믹 금속 | 30nm ... 2μm 300nm ... 5μm 1μm ... 20μm |
| 샘플 필름 두께 (FF 방식) | 1μm 이상 두께 | |
| 기판 | 재질 크기 두께 | 불투명/투명 10 ... 20mm 정사각형 1mm 최대. |
| 열 확산도 | 범위 | 0.01 ... 1000 mm²/s |
| 정확도 | 40분 측정 시간, ± 6.2%(RF 모드에서 CRM 5808A, 400nm 두께 기준) | |
| 반복성 | ± 5% | |
| 소프트웨어 | 열 특성 계산, 다층 분석, 데이터베이스 |
소프트웨어
현장 디스플레이 및 100,000개의 샷 분석
NanoTR/PicoTR 의 최첨단 측정/분석 소프트웨어는 다루기 쉬운 사용자 인터페이스를 통해 박막의 열 특성을 정밀하게 측정할 수 있습니다. 소프트웨어로 레이저 빔 포커싱을 조정할 수 있으며 CCD 사진을 얻을 수 있습니다.
NanoTR/PicoTR 소프트웨어는 Microsoft Windows에서 실행됩니다.
플롯은 1μs 측정 시간 내에 하나의 측정 곡선을 얻을 수 있음을 보여줍니다.
몇 분 안에 결과 얻기
관련 장치
