NanoTR

Основные моменты

Метод

Технические характеристики

Программное обеспечение

Связаться с

СМИ

Основные моменты

Метод определения тепловой диффузии в диапазоне толщин нанометров

Методы времяпролетного термоотражения

Метод определения теплопроводности в нанометровом диапазоне толщин

В связи со значительным прогрессом в разработке электронных устройств и связанной с этим необходимостью эффективного терморегулирования, точные измерения теплопроводности/теплопроводности в нанометровом диапазоне становятся как никогда важными.

Национальный институт передовой промышленной науки и технологии (AIST), Япония, уже отреагировал на требования промышленности, разработав в начале 90-х годов "метод терморефлектометрии с импульсным световым нагревом". Корпорация PicoTherm была основана в 2008 году и выпустила нано-секундный терморефлектометрический прибор "NanoTR" и пикосекундного терморефлектометрического прибора "PicoTR", которые позволяют проводить абсолютные измерения теплопроводности тонких пленок в диапазоне толщин от нескольких 10 мкм до нанометрового диапазона.

В октябре 2020 года компания PicoTherm присоединилась к группе NETZSCH в качестве дочерней компании NETZSCH Japan. В сочетании с нашими системами LFA NETZSCH теперь может предложить решение для тонких пленок в нанометровом диапазоне вплоть до сыпучих материалов в диапазоне мм.

Испытание теплопроводности тонкопленочного ленточного кабеля

Национальный институт передовой промышленной науки и технологии (AIST), Япония, уже отреагировал на требования промышленности, разработав в начале 90-х годов "метод терморефлектометрии с импульсным световым нагревом". Корпорация PicoTherm была основана в 2008 году и выпустила нано-секундный терморефлектометрический прибор "NanoTR" и пикосекундного терморефлектометрического прибора "PicoTR", которые позволяют проводить абсолютные измерения температуропроводности тонких пленок в диапазоне толщин от нескольких 10 мкм до нанометрового диапазона.

Метод

Методы терморефлектограммы во временной области - Метод лазерной вспышки для тонких пленок

NanoTRсовременная технология обработки сигналов позволяет проводить высокоскоростные измерения. В этом терморефлектометрическом приборе лазерный импульс длительностью 1 нс периодически (20 мкс) облучает образец.

Полученный температурный отклик подается на CW-лазер (зондирующий лазер). Отличное соотношение с/ш может быть достигнуто за счет высокоскоростной интеграции повторяющихся сигналов. С помощью программного обеспечения можно легко переключаться между конфигурациями RF и FF для широкого спектра образцов.

NanoTR прибор соответствует стандартам JIS R 1689, JIS R 1690 и SI, прослеживаемым по стандарту времени тепловой диффузии тонких пленок (RM1301-a), поставляемому AIST.

Prinzip der NETZSCH `NanoTR` Thermal Reflectance Methode

Терморефлекторные методы

Метод сверхбыстрой лазерной вспышки - задний нагрев/переднее обнаружение (RF)

Определение тепловой диффузии и межфазного термического сопротивления

classicТот факт, что теплофизические свойства тонких слоев и пленок значительно отличаются от свойств соответствующего объемного материала, требует создания методики, преодолевающей ограничения метода лазерной вспышки (LFA). Этот так называемый метод сверхбыстрой лазерной вспышки также известен как метод заднего нагрева/фронтального обнаружения.
Измерительная установка аналогична обычной LFA: детектор и лазер находятся на противоположных сторонах образца, расположенного на прозрачной подложке. Измеряемая тепловая диффузия - это составляющая через толщину, перпендикулярную поверхности образца. Лазер накачки облучает заднюю сторону образца.

По мере нагрева образца его поверхностный термоотражающий эффект изменяется. Тепловая диффузия рассчитывается по увеличению температуры (нижний график). Здесь тепловая диффузия тонкой металлической пленки (Mo) была определена как 1,59 - ^10-5^м2/с.

Радиочастотная конфигурация специально для прозрачных веществ

Кривая температурной истории и измеренная тепловая диффузия тонкой пленки Mo (90 нм) с помощью радиочастотного метода

Терморефлексия во временной области - нагрев фронта/обнаружение фронта (FF)

Определение тепловой диффузии и теплового удельного веса

В дополнение к радиочастотному методу, измерения могут быть выполнены в конфигурации фронтального нагрева/фронтального обнаружения (FF). Термин "фронт" относится к открытой поверхности тонкой пленки, нанесенной на подложку, а "тыл" - к границе между тонкой пленкой и подложкой.

В измерительной установке FF (верхний рисунок) детектор и лазер находятся на одной стороне образца. Область передней поверхности тонкой пленки диаметром в несколько десятков микрометров нагревается лазером накачки, и на эту же позицию наводится зондирующий лазер. Наблюдается изменение температуры поверхности.

Этот метод можно применять к тонким слоям на непрозрачных подложках, для которых радиочастотная техника не подходит.

В примере слева теплопроводность тонкой металлической пленки (Mo) была определена как 1,61 - 10-5 м2/с с помощью метода FF. Результаты подтверждают высокое согласие между режимами RF и FF (отклонение < 2%).

Конфигурация FF специально для непрозрачных подложек

Кривая температурной истории и измеренная тепловая диффузия тонкой пленки Mo (90 нм) методом FF

Технические характеристики

		`NanoTR`
Лазер накачки	Ширина импульса Длина волны Диаметр луча	1 нс 1550 нм 100 мкм
Зондовый лазер	Ширина импульса Длина волны Диаметр луча	непрерывный 785 нм 50 мкм
Элементы измерения		Тепловая диффузия и эффузия, межфазное сопротивление
Толщина пленки образца (радиочастотный метод)	Смола Керамика Металл	30 нм ... 2 мкм 300 нм ... 5 мкм 1 мкм ... 20 мкм
Толщина пленки образца (метод FF)		Толще 1 мкм
Подложка	Материал Размер Толщина	Непрозрачные/прозрачные 10 ... 20 мм кв. 1 мм макс.
Тепловая диффузия	Диапазон	0.01 ... 1000 мм²/с
	Точность	± 6,2% при времени измерения 40 мин, для CRM 5808A в режиме RF, толщина 400 нм
	Повторяемость	± 5%
Программное обеспечение		Расчет тепловых свойств, многослойный анализ, база данных

Брошюры и информационные листы

Программное обеспечение

Отображение и анализ на месте 100 000 shots

Современное программное обеспечение для измерений и анализа NanoTR/PicoTR имеет простой в обращении пользовательский интерфейс, что позволяет точно определять тепловые свойства тонких пленок. С помощью программного обеспечения можно регулировать фокусировку лазерного луча и получать ПЗС-изображение.

NanoTR/PicoTR программное обеспечение работает под управлением Microsoft Windows.

График показывает, что за 1 мкс времени измерения может быть получена одна измерительная кривая.

Получение результатов за считанные минуты

Сопутствующие устройства

PicoTR
Терморефлексия во временной области с использованием импульсного светового нагрева
- Ширина импульса: 0,5 пс
- 10 нм ... 900 нм Толщина образца
- 0.01 ... 1000 мм²/с Диапазон
LFA 467 HyperFlash^®
LFA 457 MicroFlash^®
Определение теплофизических свойств
- Диапазон температур: от -125°C до 1100°C
- Две различные печи, заменяемые пользователем
- Измерение тепловой диффузии и теплопроводности