Основные моменты
Метод определения тепловой диффузии в диапазоне толщин нанометров
Методы времяпролетного термоотражения
Метод определения теплопроводности в нанометровом диапазоне толщин
В связи со значительным прогрессом в разработке электронных устройств и связанной с этим необходимостью эффективного терморегулирования, точные измерения теплопроводности/теплопроводности в нанометровом диапазоне становятся как никогда важными.
Национальный институт передовой промышленной науки и технологии (AIST), Япония, уже отреагировал на требования промышленности, разработав в начале 90-х годов "метод терморефлектометрии с импульсным световым нагревом". Корпорация PicoTherm была основана в 2008 году и выпустила нано-секундный терморефлектометрический прибор "NanoTR" и пикосекундного терморефлектометрического прибора "PicoTR", которые позволяют проводить абсолютные измерения теплопроводности тонких пленок в диапазоне толщин от нескольких 10 мкм до нанометрового диапазона.
В октябре 2020 года компания PicoTherm присоединилась к группе NETZSCH в качестве дочерней компании NETZSCH Japan. В сочетании с нашими системами LFA NETZSCH теперь может предложить решение для тонких пленок в нанометровом диапазоне вплоть до сыпучих материалов в диапазоне мм.
![Испытание теплопроводности тонкопленочного ленточного кабеля](https://analyzing-testing.netzsch.com/_Resources/Persistent/3/5/f/3/35f3f3a48ace96f43039a42d09392cb55e339a3a/test_nano-871x653-600x450.webp)
В связи со значительным прогрессом в разработке электронных устройств и связанной с этим необходимостью эффективного терморегулирования, точные измерения теплопроводности/теплопроводности в нанометровом диапазоне становятся как никогда важными.
Национальный институт передовой промышленной науки и технологии (AIST), Япония, уже отреагировал на требования промышленности, разработав в начале 90-х годов "метод терморефлектометрии с импульсным световым нагревом". Корпорация PicoTherm была основана в 2008 году и выпустила нано-секундный терморефлектометрический прибор "NanoTR" и пикосекундного терморефлектометрического прибора "PicoTR", которые позволяют проводить абсолютные измерения температуропроводности тонких пленок в диапазоне толщин от нескольких 10 мкм до нанометрового диапазона.
Метод
Методы терморефлектограммы во временной области - Метод лазерной вспышки для тонких пленок
С помощью сайта PicoTR на образец могут быть поданы лазерные импульсы (лазер накачки) с длительностью импульса 0,5 пс и периодом 50 нс. Время температурного отклика также определяется лазером образца.
PicoTR позволяет пользователю легко переключаться между режимами RT и FF.
PicoTR соответствует японским промышленным стандартам JIS R 1689 и JIS R 1690.
![](https://analyzing-testing.netzsch.com/_Resources/Persistent/9/6/1/b/961b827bb4dda6ef5012a3b072232ad860a7efe6/Instrument_setup_of_PicoTR_apparatus-600x294.webp)
Технические характеристики
PicoTR | ||
---|---|---|
Лазер накачки | Длительность импульса Длина волны Диаметр луча | 0.5 пс 1550 нм 45 мкм |
Лазер образца | Ширина импульса Длина волны Диаметр луча | 0.5 пс 775 нм 25 мкм |
Измеренные значения | Коэффициенты температуропроводности и теплопроницаемости, термическое сопротивление промежуточных слоев | |
Толщина слоя образца (метод RF) | Смола Керамика Металл | 10 нм ... 100 нм 10 нм ... 300 нм 100 нм ... 900 нм |
Толщина слоя образца (метод FF) | Толще 100 нм | |
Подложки | Материал Размер Толщина | Непрозрачные/прозрачные 10 ... 20 мм кв. 1 мм макс. |
Тепловая диффузия | Диапазон | 0.01 ... 1000 мм²/с |
Точность | ± 6,2 % при времени измерения 40 мин, для CRM 5808A в режиме RF, толщина 400 нм | |
Воспроизводимость | ± 5% | |
Программное обеспечение | Расчет тепловых свойств, многослойный анализ, база данных |
Программное обеспечение
Отображение и анализ на месте 100 000 shots
Современное программное обеспечение для измерений и анализа NanoTR/PicoTR имеет простой в обращении пользовательский интерфейс, что позволяет точно определять тепловые свойства тонких пленок. С помощью программного обеспечения можно регулировать фокусировку лазерного луча и получать ПЗС-изображение.
NanoTR/PicoTR программное обеспечение работает под управлением Microsoft Windows.
График показывает, что за 1 мкс времени измерения может быть получена одна измерительная кривая.
![](https://analyzing-testing.netzsch.com/_Resources/Persistent/7/5/f/a/75fadb5ce18e7f6fe16d2ad9ef90cee1f5330182/Analysis-806x819.webp)
Получение результатов за считанные минуты
![](https://analyzing-testing.netzsch.com/_Resources/Persistent/9/7/f/4/97f4433aa6fe5b8c6f470f6947768a1fd4b6b215/Measurement-843x746.webp)
Сопутствующие устройства
- NanoTR
Терморефлексия во временной области с использованием импульсного светового нагрева
- Ширина импульса: 1 нс
- 30 нм ... 20 мкм Толщина образца
- 0.01 ... 1000 мм²/с Диапазон
- LFA 467 HyperFlash®
- LFA 457 MicroFlash®
Определение теплофизических свойств
- Диапазон температур: от -125°C до 1100°C
- Две различные печи, заменяемые пользователем
- Измерение тепловой диффузии и теплопроводности
![](https://analyzing-testing.netzsch.com/_Resources/Persistent/0/8/4/8/08489d0bce6cd6d133428a9abb033c31653ab7d2/NETZSCH%20Service-1650x825.webp)
Консультации и продажи
У вас есть дополнительные вопросы о приборе или методе, и вы хотели бы поговорить с торговым представителем?
Обслуживание и поддержка
У вас уже есть прибор, и вам нужна техническая поддержка или запасные части?