PicoTR
TermorreflexiónLa termorreflexión es un método para determinar la difusividad térmica y la conductividad térmica de películas finas con espesores en el rango nanométrico.Termorreflexión en el Dominio del tiempoUn análisis en el dominio del tiempo se basa en los cambios de las señales físicas relacionados con el tiempo. Un gráfico en el dominio del tiempo muestra cómo cambia una señal a lo largo del tiempo. En el caso de la termorreflexión o del método del destello láser, la señal del detector (cambio de tensión) se registra -como mínimo- en el intervalo de tiempo entre la entrada de energía y el máximo de la señal (por ejemplo, en el modo RF) o en función del tiempo previsto de difusión del calor (por ejemplo, en el modo FF).dominio del tiempo mediante calentamiento por luz pulsada
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Método de determinación de la Difusividad térmicaLa difusividad térmica (a con la unidad mm2/s) es una propiedad específica de los materiales para caracterizar la conducción de calor inestable. Este valor describe la rapidez con la que un material reacciona a un cambio de temperatura.difusividad térmica en el rango de espesor del nanómetro
Métodos de TermorreflexiónLa termorreflexión es un método para determinar la difusividad térmica y la conductividad térmica de películas finas con espesores en el rango nanométrico.termorreflexión en el Dominio del tiempoUn análisis en el dominio del tiempo se basa en los cambios de las señales físicas relacionados con el tiempo. Un gráfico en el dominio del tiempo muestra cómo cambia una señal a lo largo del tiempo. En el caso de la termorreflexión o del método del destello láser, la señal del detector (cambio de tensión) se registra -como mínimo- en el intervalo de tiempo entre la entrada de energía y el máximo de la señal (por ejemplo, en el modo RF) o en función del tiempo previsto de difusión del calor (por ejemplo, en el modo FF).dominio del tiempo
Método para la determinación de la Difusividad térmicaLa difusividad térmica (a con la unidad mm2/s) es una propiedad específica de los materiales para caracterizar la conducción de calor inestable. Este valor describe la rapidez con la que un material reacciona a un cambio de temperatura.difusividad térmica en el rango de espesores nanométricos
Con el significativo progreso en el diseño de dispositivos electrónicos y la necesidad asociada de una gestión térmica eficiente, las mediciones precisas de Difusividad térmicaLa difusividad térmica (a con la unidad mm2/s) es una propiedad específica de los materiales para caracterizar la conducción de calor inestable. Este valor describe la rapidez con la que un material reacciona a un cambio de temperatura.difusividad térmica / Conductividad térmicaLa conductividad térmica (λ con la unidad W/(m-K)) describe el transporte de energía -en forma de calor- a través de un cuerpo de masa como resultado de un gradiente de temperatura (véase la fig. 1). Según la segunda ley de la termodinámica, el calor siempre fluye en la dirección de la temperatura más baja.conductividad térmica en el rango nanométrico son más que nunca cruciales.
El Instituto Nacional de Ciencia y Tecnología Industrial Avanzada (AIST) de Japón ya respondió a las necesidades de la industria con el desarrollo de un "método de TermorreflexiónLa termorreflexión es un método para determinar la difusividad térmica y la conductividad térmica de películas finas con espesores en el rango nanométrico.termorreflexión por calentamiento con luz pulsada" a principios de la década de 1990. PicoTherm Corporation se fundó en 2008 con el lanzamiento de un aparato de TermorreflexiónLa termorreflexión es un método para determinar la difusividad térmica y la conductividad térmica de películas finas con espesores en el rango nanométrico.termorreflexión de nanosegundos "NanoTR" y un aparato de TermorreflexiónLa termorreflexión es un método para determinar la difusividad térmica y la conductividad térmica de películas finas con espesores en el rango nanométrico.termorreflexión de pico-segundos "PicoTR", que permite realizar mediciones absolutas de la Difusividad térmicaLa difusividad térmica (a con la unidad mm2/s) es una propiedad específica de los materiales para caracterizar la conducción de calor inestable. Este valor describe la rapidez con la que un material reacciona a un cambio de temperatura.difusividad térmica de películas finas en un rango de grosor de varios 10 μm hasta el rango nanométrico.
En octubre de 2020, PicoTherm se unió al grupo NETZSCH como filial de NETZSCH Japan. En combinación con nuestros sistemas LFA, NETZSCH puede ofrecer ahora la solución para películas finas en el rango nanométrico hasta materiales a granel en el rango de mm.
Con los importantes avances en el diseño de dispositivos electrónicos y la necesidad asociada de una gestión térmica eficiente, las mediciones precisas de la Difusividad térmicaLa difusividad térmica (a con la unidad mm2/s) es una propiedad específica de los materiales para caracterizar la conducción de calor inestable. Este valor describe la rapidez con la que un material reacciona a un cambio de temperatura.difusividad térmica / Conductividad térmicaLa conductividad térmica (λ con la unidad W/(m-K)) describe el transporte de energía -en forma de calor- a través de un cuerpo de masa como resultado de un gradiente de temperatura (véase la fig. 1). Según la segunda ley de la termodinámica, el calor siempre fluye en la dirección de la temperatura más baja.conductividad térmica en el rango nanométrico son más cruciales que nunca.
El Instituto Nacional de Ciencia y Tecnología Industrial Avanzada (AIST) de Japón ya respondió a las necesidades de la industria con el desarrollo de un "método de TermorreflexiónLa termorreflexión es un método para determinar la difusividad térmica y la conductividad térmica de películas finas con espesores en el rango nanométrico.termorreflexión por calentamiento con luz pulsada" a principios de los años 90. PicoTherm Corporation se fundó en 2008 con el lanzamiento de un aparato de TermorreflexiónLa termorreflexión es un método para determinar la difusividad térmica y la conductividad térmica de películas finas con espesores en el rango nanométrico.termorreflexión de nanosegundos "NanoTR" y un aparato de TermorreflexiónLa termorreflexión es un método para determinar la difusividad térmica y la conductividad térmica de películas finas con espesores en el rango nanométrico.termorreflexión de pico-segundos "PicoTR", que permite realizar mediciones absolutas de la Difusividad térmicaLa difusividad térmica (a con la unidad mm2/s) es una propiedad específica de los materiales para caracterizar la conducción de calor inestable. Este valor describe la rapidez con la que un material reacciona a un cambio de temperatura.difusividad térmica de películas finas en un rango de espesores de varios 10 μm hasta el rango nanométrico.
Método
Métodos de TermorreflexiónLa termorreflexión es un método para determinar la difusividad térmica y la conductividad térmica de películas finas con espesores en el rango nanométrico.termorreflexión en el Dominio del tiempoUn análisis en el dominio del tiempo se basa en los cambios de las señales físicas relacionados con el tiempo. Un gráfico en el dominio del tiempo muestra cómo cambia una señal a lo largo del tiempo. En el caso de la termorreflexión o del método del destello láser, la señal del detector (cambio de tensión) se registra -como mínimo- en el intervalo de tiempo entre la entrada de energía y el máximo de la señal (por ejemplo, en el modo RF) o en función del tiempo previsto de difusión del calor (por ejemplo, en el modo FF).dominio del tiempo - El método Laser Flash para películas finas
Con el PicoTR, pueden aplicarse a la muestra pulsos láser (láser de bombeo) con una anchura de pulso de 0,5 ps y un periodo de tiempo de 50 ns. El tiempo de respuesta de la temperatura también es detectado por el láser de la muestra.
PicoTR permite al usuario cambiar fácilmente entre los modos RT y FF.
PicoTR cumple las normas industriales japonesas JIS R 1689 y JIS R 1690.
Especificaciones
| PicoTR | ||
|---|---|---|
| Láser de bombeo | Ancho de pulso Longitud de onda Diámetro del haz | 0.5 ps 1550 nm 45 μm |
| Láser de muestra | Anchura de pulso Longitud de onda Diámetro del haz | 0.5 ps 775 nm 25 μm |
| Valores medidos | Coeficientes de difusividad térmica y de penetración del calor, resistencia térmica de las capas intermedias | |
| Espesor de la capa de la muestra (método RF) | Resina Cerámica Metal | 10 nm ... 100 nm 10 nm ... 300 nm 100 nm ... 900 nm |
| Espesor de la capa de la muestra (método FF) | Espesor superior a 100 nm | |
| Sustratos | Material Tamaño Grosor | Opaco/transparente 10 ... 20 mm cuadrado 1 mm máx. |
| Difusividad térmicaLa difusividad térmica (a con la unidad mm2/s) es una propiedad específica de los materiales para caracterizar la conducción de calor inestable. Este valor describe la rapidez con la que un material reacciona a un cambio de temperatura.Difusividad térmica | Gama | 0.01 ... 1000 mm²/s |
| Precisión | ± 6,2 % con un tiempo de medición de 40 min, para CRM 5808A en modo RF, espesor de 400 nm | |
| Reproducibilidad | ± 5% | |
| Software | Cálculo de propiedades térmicas, análisis multicapa, base de datos |
Software
Visualización in situ y análisis de 100.000 disparos
El software de medición/análisis de última generación de NanoTR/PicoTR dispone de una interfaz de usuario de fácil manejo que permite determinar con precisión las propiedades térmicas de las películas finas. El software permite ajustar el enfoque del haz láser y obtener imágenes CCD.
NanoTR/ El softwarePicoTR funciona con Microsoft Windows.
El gráfico muestra que en 1 μs de tiempo de medición puede obtenerse una curva de medición.
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