PicoTR
Időtartománybeli termoreflektancia impulzusfény-fűtés alkalmazásával
Kiemelt információk
A Hővezető képességA hővezető képesség (λ, mértékegysége W/(m-K)) az energia - hő formájában történő - szállítását írja le egy tömegtestben a hőmérséklet-gradiens hatására (lásd az 1. ábrát). A termodinamika második törvénye szerint a hő mindig az alacsonyabb hőmérséklet irányába áramlik.hővezető képesség meghatározásának módszere a nanométeres vastagságtartományban
Időtartománybeli termoreflektancia módszerek
A Termikus diffúziós képességA hővezető képesség (a mm2/s egységgel) egy anyagspecifikus tulajdonság, amely az instacionárius hővezetés jellemzésére szolgál. Ez az érték azt írja le, hogy egy anyag milyen gyorsan reagál a hőmérsékletváltozásra.termikus diffúziós képesség meghatározásának módszere a nanométeres vastagságtartományban
Az elektronikus eszközök tervezésének jelentős fejlődésével és a hatékony hőgazdálkodással kapcsolatos igényével a nanométeres tartományban a pontos hővezetési képesség / hővezetési tényező mérése minden eddiginél fontosabb.
A japán National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) már a 90-es évek elején válaszolt az ipari igényekre az "impulzusfényes fűtéses termoreflektancia-módszer" kifejlesztésével. A PicoTherm Corporation 2008-ban jött létre egy nanoszekundumos termoreflektancia készülék "NanoTR" és egy pikoszekundumos termoreflektancia-készülékkel "PicoTR", amelyek lehetővé teszik a vékonyrétegek hődiffúziós képességének abszolút mérését néhány 10 μm-es vastagságtól egészen a nanométeres tartományig.
2020 októberében a PicoTherm a NETZSCH csoporthoz csatlakozott a NETZSCH Japan leányvállalataként. 2020 októberében a NETZSCH az LFA-rendszereinkkel kombinálva mostantól a nanométeres tartományban lévő vékonyrétegeknél egészen a mm-es tartományban lévő ömlesztett anyagokig kínál megoldást.
Az elektronikus eszközök tervezésének jelentős fejlődésével és a hatékony hőkezelés iránti igényével a nanométeres tartományban végzett pontos hődiffúzió/Hővezető képességA hővezető képesség (λ, mértékegysége W/(m-K)) az energia - hő formájában történő - szállítását írja le egy tömegtestben a hőmérséklet-gradiens hatására (lásd az 1. ábrát). A termodinamika második törvénye szerint a hő mindig az alacsonyabb hőmérséklet irányába áramlik.hővezető képesség mérések minden eddiginél fontosabbak.
A japán National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) már a 90-es évek elején válaszolt az ipari igényekre az "impulzusfényes fűtéses TermoreflexióA termoreflexió a nanométeres vastagságú vékonyrétegek hővezető képességének és hővezető képességének meghatározására szolgáló módszer.termoreflexiós módszer" kifejlesztésével. A PicoTherm Corporation 2008-ban jött létre egy nanoszekundumos termoreflektancia készülék "NanoTR" és egy pikoszekundumos termoreflektancia-készülékkel "PicoTR", amelyek lehetővé teszik a vékonyrétegek hődiffúziós képességének abszolút mérését néhány 10 μm-es vastagságtól egészen a nanométeres tartományig.
Módszer
Időtartománybeli hővisszaverődési módszerek - A lézerflash módszer vékonyrétegeknél
A PicoTR segítségével 0,5 ps impulzusszélességű és 50 ns időtartamú lézerimpulzusok (pumpalézer) juttathatók a mintára. A hőmérséklet-válaszidőt a mintalézer is érzékeli.
PicoTR lehetővé teszi a felhasználó számára az RT és FF üzemmód közötti egyszerű váltást.
PicoTR megfelel a JIS R 1689 és a JIS R 1690 japán ipari szabványoknak.
Műszaki adatok
| PicoTR | ||
|---|---|---|
| Pumpalézer | Impulzusszélesség Hullámhossz Sugár átmérője | 0.5 ps 1550 nm 45 μm 45 μm |
| Minta lézer | Impulzusszélesség Hullámhossz Sugárátmérő | 0.5 ps 775 nm 25 μm 25 μm |
| Mérési értékek | Hődiffúziós és hőbehatolási együtthatók, a közbenső rétegek hőellenállása | |
| A minta rétegvastagsága (RF-módszer) | Gyanta Kerámia Fém | 10 nm ... 100 nm 10 nm ... 300 nm 100 nm ... 900 nm |
| Mintaréteg vastagsága (FF-módszer) | 100 nm-nél vastagabb | |
| Szubsztrátumok | Anyag Méret Vastagság | Átlátszatlan/átlátszó 10 ... 20 mm négyzet alakú max. 1 mm |
| Termikus diffúziós képességA hővezető képesség (a mm2/s egységgel) egy anyagspecifikus tulajdonság, amely az instacionárius hővezetés jellemzésére szolgál. Ez az érték azt írja le, hogy egy anyag milyen gyorsan reagál a hőmérsékletváltozásra.Termikus diffúziós képesség | Tartomány | 0.01 ... 1000 mm²/s |
| Pontosság | ± 6,2 % 40 perc mérési idővel, CRM 5808A esetében RF üzemmódban, 400 nm vastagságnál | |
| Reprodukálhatóság | ± 5% | |
| Szoftver | Hőtani tulajdonságok számítása, többrétegű elemzés, adatbázis |
Szoftver
100 000 felvétel helyszíni megjelenítése és elemzése
A NanoTR/PicoTR legkorszerűbb mérési/elemzési szoftvere könnyen kezelhető felhasználói felülettel rendelkezik, amely lehetővé teszi a vékonyrétegek hőtani tulajdonságainak pontos meghatározását. A lézersugár fókuszálása a szoftverrel beállítható, és CCD-képet kaphatunk.
NanoTR/PicoTR szoftver Microsoft Windows alatt fut.
A grafikonon látható, hogy 1 μs mérési idő alatt egy mérési görbe nyerhető.
Perceken belüli eredmények elérése
Kapcsolódó eszközök
Tanácsadás és értékesítés
További kérdései vannak a műszerrel vagy a módszerrel kapcsolatban, és szeretne beszélni egy értékesítési képviselővel?
Szerviz és támogatás
Már rendelkezik műszerrel, és műszaki támogatásra vagy pótalkatrészekre van szüksége?