Időtartománybeli termoreflektancia analizátor

A nanométeres vastagságú vékonyrétegek Hővezető képességA hővezető képesség (λ, mértékegysége W/(m-K)) az energia - hő formájában történő - szállítását írja le egy tömegtestben a hőmérséklet-gradiens hatására (lásd az 1. ábrát). A termodinamika második törvénye szerint a hő mindig az alacsonyabb hőmérséklet irányába áramlik.hővezető képességének és Hővezető képességA hővezető képesség (λ, mértékegysége W/(m-K)) az energia - hő formájában történő - szállítását írja le egy tömegtestben a hőmérséklet-gradiens hatására (lásd az 1. ábrát). A termodinamika második törvénye szerint a hő mindig az alacsonyabb hőmérséklet irányába áramlik.hővezető képességének meghatározásához

Az LFA-módszer jellemzően 0,1 mm és 6 mm közötti vastagságú mintákon alkalmazható. Az elektronikai eszközök egyre fejlettebb kialakítása és a hatékony hőkezelés iránti igény miatt azonban minden eddiginél fontosabb, hogy a nanométeres tartományban is pontosan mérjük a hővezető képességet, a hővezető képességet és az átmeneti érintkezési ellenállást. Ezen az alkalmazási területen az anyagok vastagsága 10 nm és 20 µm között mozog. Ezek lehetnek fázisátalakító tárolók (PCM), termoelektromos vékonyrétegek, fénykibocsátó diódák (LED), dielektromos határfelületi rétegek vagy akár átlátszó vezető filmek (TCF).

Időtartománybeli termoreflexiós analizátoraink

Fedezze fel a NETZSCH TDTR műszerek választékát

  • PicoTR

    Időtartománybeli termoreflektancia impulzusfény-fűtéssel

    • Impulzusszélesség: 0,5 ps
    • 10 nm ... 900 nm A minta vastagsága
    • 0.01 ... 1000 mm²/s tartomány
  • NanoTR

    Időtartománybeli termoreflektancia impulzusfény-fűtéssel

    • Impulzusszélesség: 1 ns
    • 30 nm ... 20 μm Mintavastagság
    • 0.01 ... 1000 mm²/s tartomány

A NETZSCH TDTR-eszközök előnyei

NETZSCH Az időtartománybeli termoreflektancia (TDTR) analizátorok lehetővé teszik a néhány nanométertől a több tíz mikrométer vastagságig terjedő, ultra-vékony filmek és határfelületek pontos, roncsolásmentes termikus jellemzését. Az ultragyors lézerimpulzusok használatával ezek az analizátorok percek alatt pontos adatokat szolgáltatnak a hődiffúziós képességről, a hővezető képességről és a határfelületi hőellenállásról - még a kényes vagy mintázott minták esetében is.

  • Ultravékony filmek mérése
    Pontos hődiffúziós/ hővezetési eredmények néhány nanométertől több tíz mikrométer vastagságú rétegek esetén.
  • Érintésmentes és roncsolásmentes
    Ultrarövid lézeres fűtés/érzékelés megóvja a kényes felületeket.
  • RF és FF konfigurációk
    NanoTR és PicoTR egyaránt konfigurálható RF (hátsó fűtés/elülső érzékelés) és FF (elülső fűtés/elülső érzékelés) mérésekhez.
  • Sokoldalú
    Átlátszatlan és átlátszó mintákkal működik elülső vagy hátsó fűtési/elülső érzékelési módokon keresztül.
  • Gyors és átfogó
    Percek alatt meghatározza a hővezető képességet, a hővezető képességet és a határfelületi hőellenállást.
  • Szabványosított és megbízható
    Megfelel a JIS R 1689/1690 szabványnak a nyomon követhető eredmények érdekében.
  • Legszélesebb vastagságtartomány: LFA műszereinkkel kombinálva a nanométeres tartományban lévő vékony filmektől a milliméteres tartományban lévő ömlesztett anyagokig mindenre tudunk megoldást kínálni.
Hosszú eszköz élettartam
Kiváló minőségű műszer, hosszú távú pótalkatrész-ellátottsággal párosulva
Mindig ott van neked
Közvetlen kapcsolat az Ön NETZSCH szakértőivel a szerviz, a laboratórium és a képzés területén
Proven Excellence szolgálatban
A NETZSCH műszer teljes életciklusa alatt támogatjuk az Ön műszerét

A TDTR-módszer elve

Termoreflektancia impulzusfény-fűtéssel

A hagyományos lézervillantásos módszerrel ellentétben itt nincs infravörös detektor a minta hőmérsékletének rövid lézerimpulzust követő növekedésének mérésére. Ehelyett a felület hőmérsékletfüggő reflexiós képességét használják a mérési jel (feszültségváltozás) előállítására.

A vékonyréteget rövid lézerimpulzus (pumpalézer) melegíti. Ezzel egyidejűleg egy további lézer (szondalézer) folyamatosan bekapcsolva marad. A szondalézer lézerfénye a film felületéről visszaverődik a detektorra. A detektorban a feszültségváltozás abszolút értéke arányos a film felületének hőmérsékletváltozásával. A feszültségváltozás alapján végzett modellszámítás adja meg a vékonyrétegek hődiffúziós idejét és hődiffúziós képességét.

A hődiffúziós idő (t) a vastagságtól (d) és a hődiffúziós képességtől (a) függ. A lehetséges hődiffúziós időtartományok az 1. ábrán láthatók. Az LFA 467 esetében például az alsó határ ~500 µs, ami egy 200 µm vastagságú rézlemezhez hasonlítható. Ezzel szemben a PicoTR (pikoszekundumos TermoreflexióA termoreflexió a nanométeres vastagságú vékonyrétegek hővezető képességének és hővezető képességének meghatározására szolgáló módszer.termoreflexiós készülék) 100 nm vastagságú molibdénfilmet képes mérni. Az LFA és az LFA közötti tartományba eső alkalmazásoknál PicoTRközötti tartományban a költséghatékonyabb NanoTR (nanoszekundumos TermoreflexióA termoreflexió a nanométeres vastagságú vékonyrétegek hővezető képességének és hővezető képességének meghatározására szolgáló módszer.termoreflexiós készülék) áll rendelkezésre.

Vékonyrétegek hőkezelése

A japán National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) már a 90-es évek elején reagált az ipari igényekre az "impulzusfény-fűtéses TermoreflexióA termoreflexió a nanométeres vastagságú vékonyrétegek hővezető képességének és hővezető képességének meghatározására szolgáló módszer.termoreflexiós módszer" kifejlesztésével. A PicoTherm Corporation 2008-ban jött létre egy nanoszekundumos TermoreflexióA termoreflexió a nanométeres vastagságú vékonyrétegek hővezető képességének és hővezető képességének meghatározására szolgáló módszer.termoreflexiós készülék, a "NanoTR" és egy pikoszekundumos TermoreflexióA termoreflexió a nanométeres vastagságú vékonyrétegek hővezető képességének és hővezető képességének meghatározására szolgáló módszer.termoreflexiós készülék, a "PicoTR", amelyek lehetővé teszik a vékonyrétegek hődiffúziós képességének abszolút mérését a több tíz mikrométeres vastagságtól egészen a nanométeres tartományig.

2020 októberében a PicoTherm a NETZSCH csoporthoz csatlakozott a NETZSCH Japan leányvállalataként. 2020 októberében a PicoTherm termékcsaládja az LFA rendszereinkkel kombinálva lehetővé teszi, hogy a NETZSCH mostantól a nanométeres tartományban lévő vékonyrétegektől a milliméteres tartományban lévő ömlesztett anyagokig mindenre kínáljon megoldásokat.

Gyakran ismételt kérdések

A termoreflektancia alkalmazásai

A modern eszközök hőáramlásának kezelése a vékony filmek és a határfelületek viselkedésének megértésével kezdődik. NETZSCH NanoTR és PicoTR analizátorok a Time Domain Thermoreflectance (TDTR) segítségével pontosan és érintésmentesen mérik a hődiffúziós képességet, a hővezető képességet és a határfelület hőellenállását a néhány nanométertől néhány mikrométer vastagságú filmekben. Akár a következő generációs mikroelektronikát fejleszti, akár a LED-ek hatékonyságát javítja, vagy az akkumulátorok anyagát optimalizálja, ezek a műszerek biztosítják a kiváló hőteljesítményű anyagok és rendszerek tervezéséhez szükséges adatokat.

A tipikus alkalmazások közé tartoznak:

  • LED- és lézereszközök
    • Epitaxiális rétegek és szubsztrátumok hővezetőképességének mérése
    • Hőterjedő rétegek határfelületi ellenállásának elemzése
  • Vékonyréteg bevonatok
    • Optikai bevonatok, kemény bevonatok és védőrétegek termikus viselkedése
    • Rétegegyenletesség ellenőrzése ostyákon vagy szubsztrátokon
  • Termoelektromos anyagok
    • Vékonyrétegű termoelektromos elemek értékelése a hatékonyság optimalizálása érdekében
  • Adattárolás és fotonika
    • Mágneses tárolórétegek és fotonikus alkatrészek hőkezelése
  • Akkumulátor- és energiaanyagok
    • Vékony elektródabevonatok, szeparátorok és szilárd elektrolitrétegek termikus tulajdonságai
  • Kutatás és fejlesztés
    • Anyagszűrés a nanotechnológiához, fejlett kompozitokhoz és új funkcionális filmekhez
    • Többrétegű rendszerek határfelületi hőellenállásának (Kapitza-ellenállás) vizsgálata

Média és képzés

Videók az időtartománybeli termoreflektancia módszerről

Please accept Marketing Cookies to see that Video.

Ismerje meg az impulzusfényes termoreflektancia alapelvét, alkalmazásait, tipikus mintákat, mintaelőkészítéseket és alkalmazási területeket.

Please accept Marketing Cookies to see that Video.

Ezen a webináriumon bemutatjuk az időtartománybeli termoreflektancia-módszerek alapjait, és kitérünk a nanométer-vékony filmek méréséhez szükséges általános műszerfelépítésre.

Please accept Marketing Cookies to see that Video.

Alapvető elmélet és adatelemzés: A nanométeres vastagságtartományban lévő minták időbeli hővisszaverődési módszerei

Tanácsadás és értékesítés

További kérdése van a műszerrel vagy a módszerrel kapcsolatban? Szeretne beszélni egy értékesítési képviselővel?

Szerviz és támogatás

Már rendelkezik műszerrel, és műszaki támogatásra vagy pótalkatrészekre van szüksége?

GYIK a NETZSCH szolgáltatásról

Egy halom fehér boríték, véletlenszerűen egymásra rakva, a kommunikációt és a levelezést szimbolizálva.

Iratkozzon fel hírlevelünkre

Exkluzív betekintést nyerhet a termikus analízis vadonatúj alkalmazásaiba és trendjeibe.

Iratkozzon fel most
AI Overview
An error occurred. Please try again.