NanoTR
Időtartománybeli hővisszaverődés impulzusfény-fűtéssel
Kiemelt információk
A Hővezető képességA hővezető képesség (λ, mértékegysége W/(m-K)) az energia - hő formájában történő - szállítását írja le egy tömegtestben a hőmérséklet-gradiens hatására (lásd az 1. ábrát). A termodinamika második törvénye szerint a hő mindig az alacsonyabb hőmérséklet irányába áramlik.hővezető képesség meghatározásának módszere a nanométeres vastagságtartományban
Időtartománybeli termoreflektancia módszerek
A Termikus diffúziós képességA hővezető képesség (a mm2/s egységgel) egy anyagspecifikus tulajdonság, amely az instacionárius hővezetés jellemzésére szolgál. Ez az érték azt írja le, hogy egy anyag milyen gyorsan reagál a hőmérsékletváltozásra.termikus diffúziós képesség meghatározásának módszere a nanométeres vastagságtartományban
Az elektronikus eszközök tervezésének jelentős fejlődésével és a hatékony hőgazdálkodással kapcsolatos igényével a nanométeres tartományban a pontos hővezetési képesség / hővezetési tényező mérése minden eddiginél fontosabb.
A japán National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) már a 90-es évek elején válaszolt az ipari igényekre az "impulzusfényes fűtéses termoreflektancia-módszer" kifejlesztésével. A PicoTherm Corporation 2008-ban jött létre egy nanoszekundumos termoreflektancia készülék "NanoTR" és egy pikoszekundumos termoreflektancia-készülékkel "PicoTR", amelyek lehetővé teszik a vékonyrétegek hődiffúziós képességének abszolút mérését néhány 10 μm-es vastagságtól egészen a nanométeres tartományig.
2020 októberében a PicoTherm a NETZSCH csoporthoz csatlakozott a NETZSCH Japan leányvállalataként. 2020 októberében a NETZSCH az LFA rendszereinkkel kombinálva mostantól megoldást kínál a nanométeres tartományban lévő vékonyrétegek számára egészen a mm-es tartományban lévő ömlesztett anyagokig.
Az elektronikus eszközök tervezésének jelentős fejlődésével és a hatékony hőkezelés iránti igényével a nanométeres tartományban végzett pontos hődiffúzió/Hővezető képességA hővezető képesség (λ, mértékegysége W/(m-K)) az energia - hő formájában történő - szállítását írja le egy tömegtestben a hőmérséklet-gradiens hatására (lásd az 1. ábrát). A termodinamika második törvénye szerint a hő mindig az alacsonyabb hőmérséklet irányába áramlik.hővezető képesség mérések minden eddiginél fontosabbak.
A japán National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) már a 90-es évek elején válaszolt az ipari igényekre az "impulzusfényes fűtéses TermoreflexióA termoreflexió a nanométeres vastagságú vékonyrétegek hővezető képességének és hővezető képességének meghatározására szolgáló módszer.termoreflexiós módszer" kifejlesztésével. A PicoTherm Corporation 2008-ban jött létre egy nanoszekundumos termoreflektancia készülék "NanoTR" és egy pikoszekundumos termoreflektancia-készülékkel "PicoTR", amelyek lehetővé teszik a vékonyrétegek hődiffúziós képességének abszolút mérését néhány 10 μm-es vastagságtól egészen a nanométeres tartományig.
Módszer
Időtartománybeli termoreflektancia módszerek - A lézer villanás módszer vékonyrétegeknél
NanoTRkorszerű jelfeldolgozási technológiája nagy sebességű méréseket tesz lehetővé. Ezzel a TermoreflexióA termoreflexió a nanométeres vastagságú vékonyrétegek hővezető képességének és hővezető képességének meghatározására szolgáló módszer.termoreflexiós készülékkel 1 ns impulzusszélességű lézerimpulzust sugároznak periodikusan (20 μs) a mintára.
Az így kapott hőmérsékleti választ egy CW lézerre (szondalézer) alkalmazzuk. Az ismétlődő jelek nagy sebességű integrálásával kiváló s/n arány érhető el. A szoftveren keresztül könnyen át lehet váltani az RF és FF konfigurációk között a minták széles skálájához.
NanoTR megfelel a JIS R 1689, JIS R 1690 szabványoknak, és az AIST-től szállított vékonyfilmes hődiffúziós idő szabvány (RM1301-a) által nyomon követhető SI.
Műszaki adatok
| NanoTR | ||
|---|---|---|
| Pumpalézer | Impulzusszélesség Hullámhossz Sugár átmérője | 1 ns 1550 nm 100 μm 100 μm |
| Szondalézer | Impulzusszélesség Hullámhossz Sugárátmérő | folyamatos 785 nm 50 μm 50 μm |
| Mérési tételek | Termikus diffúziós és effusivitás, határfelületi ellenállás | |
| A minta filmvastagsága (RF módszer) | Gyanta Kerámia Fém | 30 nm ... 2 μm 300 nm ... 5 μm 1 μm ... 20 μm |
| Minta filmvastagság (FF módszer) | 1 μm-nél vastagabb | |
| Alátét | Anyag Méret Vastagság | Átlátszatlan/átlátszó 10 ... 20 mm négyzet alakú 1 mm max. |
| Termikus diffúziós képességA hővezető képesség (a mm2/s egységgel) egy anyagspecifikus tulajdonság, amely az instacionárius hővezetés jellemzésére szolgál. Ez az érték azt írja le, hogy egy anyag milyen gyorsan reagál a hőmérsékletváltozásra.Termikus diffúziós képesség | Tartomány | 0.01 ... 1000 mm²/s |
| Pontosság | ± 6,2% 40 perces mérési idővel, CRM 5808A esetében RF üzemmódban, 400 nm vastagságnál | |
| Ismételhetőség | ± 5% | |
| Szoftver | Hőtani tulajdonságok számítása, többrétegű elemzés, adatbázis |
Szoftver
100 000 felvétel helyszíni megjelenítése és elemzése
A NanoTR/PicoTR legkorszerűbb mérési/elemzési szoftvere könnyen kezelhető felhasználói felülettel rendelkezik, amely lehetővé teszi a vékonyrétegek hőtani tulajdonságainak pontos meghatározását. A lézersugár fókuszálása a szoftverrel beállítható, és CCD-képet kaphatunk.
NanoTR/PicoTR szoftver Microsoft Windows alatt fut.
A grafikonon látható, hogy 1 μs mérési idő alatt egy mérési görbe nyerhető.
Perceken belüli eredmények elérése
Kapcsolódó eszközök
Tanácsadás és értékesítés
További kérdései vannak a műszerrel vagy a módszerrel kapcsolatban, és szeretne beszélni egy értékesítési képviselővel?
Szerviz és támogatás
Már rendelkezik műszerrel, és műszaki támogatásra vagy pótalkatrészekre van szüksége?