NanoTR
Θερμοανάκλαση στο πεδίο του χρόνου με θέρμανση με παλμικό φως
Κύρια σημεία
Η μέθοδος για τον προσδιορισμό της θερμικής διαχυτότητας στην περιοχή πάχους των νανομέτρων
Μέθοδοι θερμικής ανάκλασης στο πεδίο του χρόνου
Η μέθοδος για τον προσδιορισμό της θερμικής διαχυτότητας στην περιοχή πάχους νανομέτρων
Με τη σημαντική πρόοδο στον σχεδιασμό των ηλεκτρονικών συσκευών και τη συνακόλουθη ανάγκη για αποτελεσματική θερμική διαχείριση, οι ακριβείς μετρήσεις της θερμικής διάχυσης/θερμικής αγωγιμότητας στην περιοχή των νανομέτρων είναι περισσότερο από ποτέ ζωτικής σημασίας.
Το Εθνικό Ινστιτούτο Προηγμένης Βιομηχανικής Επιστήμης και Τεχνολογίας (AIST) της Ιαπωνίας ανταποκρίθηκε ήδη στις βιομηχανικές απαιτήσεις με την ανάπτυξη μιας "μεθόδου θερμικής ανάκλασης με τη θέρμανση με παλμικό φως" στις αρχές της δεκαετίας του '90. Η εταιρεία PicoTherm Corporation ιδρύθηκε το 2008 με την κυκλοφορία μιας συσκευής θερμικής ανάκλασης νανοδευτερολέπτου "NanoTR" και μιας συσκευής θερμοανάκλασης πικοδευτερολέπτου "PicoTR", η οποία επιτρέπει απόλυτες μετρήσεις της θερμικής διαχυτότητας λεπτών υμενίων σε ένα εύρος πάχους από μερικά 10 μm έως και την περιοχή των νανομέτρων.
Τον Οκτώβριο του 2020, η PicoTherm εντάχθηκε στον όμιλο NETZSCH ως θυγατρική της NETZSCH Japan. Σε συνδυασμό με τα συστήματα LFA, η NETZSCH μπορεί πλέον να προσφέρει τη λύση για λεπτά υμένια στην περιοχή των νανομέτρων έως και υλικά χύδην στην περιοχή των mm.
Με τη σημαντική πρόοδο στο σχεδιασμό των ηλεκτρονικών συσκευών και τη σχετική ανάγκη για αποτελεσματική θερμική διαχείριση, οι ακριβείς μετρήσεις της θερμικής διάχυσης/θερμικής αγωγιμότητας στην περιοχή των νανομέτρων είναι περισσότερο από ποτέ ζωτικής σημασίας.
Το Εθνικό Ινστιτούτο Προηγμένης Βιομηχανικής Επιστήμης και Τεχνολογίας (AIST) της Ιαπωνίας ανταποκρίθηκε ήδη στις βιομηχανικές απαιτήσεις με την ανάπτυξη μιας "μεθόδου θερμικής ανάκλασης με παλμικό φως" στις αρχές της δεκαετίας του '90. Η εταιρεία PicoTherm Corporation ιδρύθηκε το 2008 με την κυκλοφορία μιας συσκευής θερμικής ανάκλασης νανοδευτερολέπτου "NanoTR" και μιας συσκευής θερμοανάκλασης πικοδευτερολέπτου "PicoTR", η οποία επιτρέπει απόλυτες μετρήσεις της θερμικής διαχυτότητας λεπτών υμενίων σε ένα εύρος πάχους από μερικά 10 μm έως και την περιοχή των νανομέτρων.
Μέθοδος
Μέθοδοι θερμικής ανάκλασης στο πεδίο του χρόνου - Η μέθοδος Laser Flash για λεπτά υμένια
NanoTRη τεχνολογία επεξεργασίας σήματος τελευταίας τεχνολογίας επιτρέπει μετρήσεις υψηλής ταχύτητας. Με αυτή τη συσκευή θερμικής ανάκλασης, ένας παλμός λέιζερ πλάτους παλμού 1 ns ακτινοβολείται περιοδικά (20 μs) στο δείγμα.
Η προκύπτουσα απόκριση θερμοκρασίας εφαρμόζεται σε ένα λέιζερ CW (λέιζερ ανιχνευτή). Εξαιρετικός λόγος s/n μπορεί να επιτευχθεί με ολοκλήρωση υψηλής ταχύτητας των επαναλαμβανόμενων σημάτων. Μπορεί εύκολα να γίνει εναλλαγή μεταξύ των διαμορφώσεων RF και FF μέσω του λογισμικού για μεγάλη ποικιλία δειγμάτων.
NanoTR είναι σύμφωνο με τα JIS R 1689, JIS R 1690, και SI ιχνηλάσιμο από το πρότυπο λεπτών υμενίων του χρόνου διάχυσης θερμότητας (RM1301-a), που παρέχεται από την AIST.
Προδιαγραφές
| NanoTR | ||
|---|---|---|
| Λέιζερ αντλίας | Πλάτος παλμού Μήκος κύματος Διάμετρος δέσμης | 1 ns 1550 nm 100 μm |
| Λέιζερ ανιχνευτή | Πλάτος παλμού Μήκος κύματος Διάμετρος δέσμης | συνεχής 785 nm 50 μm |
| Στοιχεία μέτρησης | Θερμική διάχυση και απόδοση, διεπιφανειακή αντίσταση | |
| Πάχος υμενίου δείγματος (μέθοδος RF) | Ρητίνη Κεραμικά Μέταλλο | 30 nm ... 2 μm 300 nm ... 5 μm 1 μm ... 20 μm |
| Πάχος υμενίου δείγματος (μέθοδος FF) | Πάχος μεγαλύτερο από 1 μm | |
| Υπόστρωμα | Υλικό Μέγεθος Πάχος | Αδιαφανές/Διαφανές 10 ... 20 mm τετράγωνο 1 mm max. |
| Συντελεστής θερμικής διάχυσης | Εύρος | 0.01 ... 1000 mm²/s |
| Ακρίβεια | ± 6,2% με χρόνο μέτρησης 40 λεπτά, για CRM 5808A σε λειτουργία RF, πάχος 400 nm | |
| Επαναληψιμότητα | ± 5% | |
| Λογισμικό | Υπολογισμός θερμικών ιδιοτήτων, ανάλυση πολυστρωματικών στρώσεων, βάση δεδομένων |
Λογισμικό
Επί τόπου προβολή και ανάλυση 100.000 shots
Το υπερσύγχρονο λογισμικό μέτρησης/ανάλυσης του NanoTR/PicoTR διαθέτει ένα εύχρηστο περιβάλλον εργασίας χρήστη που επιτρέπει τον ακριβή προσδιορισμό των θερμικών ιδιοτήτων των λεπτών υμενίων. Η εστίαση της δέσμης λέιζερ μπορεί να ρυθμιστεί από το λογισμικό και να ληφθεί εικόνα CCD.
NanoTR/PicoTR το λογισμικό εκτελείται υπό Microsoft Windows.
Το διάγραμμα δείχνει ότι σε χρόνο μέτρησης 1 μs μπορεί να ληφθεί μία καμπύλη μέτρησης.
Λήψη αποτελεσμάτων σε λίγα λεπτά
Σχετικές συσκευές
Συμβουλευτική & Πωλήσεις
Έχετε περαιτέρω ερωτήσεις σχετικά με το όργανο ή τη μέθοδο και θέλετε να μιλήσετε με έναν αντιπρόσωπο πωλήσεων
Εξυπηρέτηση & Υποστήριξη
Έχετε ήδη ένα όργανο και χρειάζεστε τεχνική υποστήριξη ή ανταλλακτικά