Höjdpunkter
Metod för bestämning av Termisk diffusivitetTermisk diffusivitet (a med enheten mm2/s) är en materialspecifik egenskap för att karakterisera instationär värmeledning. Detta värde beskriver hur snabbt ett material reagerar på en temperaturförändring.termisk diffusivitet i tjockleksintervallet nanometer
Metod för bestämning av värmediffusivitet i tjockleksintervallet nanometer
Med de betydande framstegen inom design av elektroniska enheter och det därmed sammanhängande behovet av en effektiv värmehantering är noggranna mätningar av värmediffusivitet/Termisk konduktivitetVärmekonduktivitet (λ med enheten W/(m-K)) beskriver transporten av energi - i form av värme - genom en masskropp som ett resultat av en temperaturgradient (se fig. 1). Enligt termodynamikens andra huvudsats strömmar värme alltid i riktning mot den lägre temperaturen.värmeledningsförmåga i nanometerområdet mer än någonsin avgörande.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) i Japan svarade redan i början av 90-talet på industrins krav genom att utveckla en "termoreflektansmetod med pulsad ljusuppvärmning". PicoTherm Corporation grundades 2008 med lanseringen av en nano-sekunds termoreflektansapparat "NanoTR" och en pico-sekunds termoreflektansapparat "PicoTR", som möjliggör absoluta mätningar av den termiska diffusiviteten hos tunna filmer i ett tjockleksintervall på flera 10 μm ner till nanometerområdet.
I oktober 2020 gick PicoTherm med i NETZSCH Group som ett dotterbolag till NETZSCH Japan. I kombination med våra LFA-system kan NETZSCH nu erbjuda en lösning för tunna filmer i nanometerområdet upp till bulkmaterial i mm-området.

Med de stora framstegen inom konstruktionen av elektroniska enheter och det därmed sammanhängande behovet av en effektiv värmehantering är noggranna mätningar av värmediffusivitet/Termisk konduktivitetVärmekonduktivitet (λ med enheten W/(m-K)) beskriver transporten av energi - i form av värme - genom en masskropp som ett resultat av en temperaturgradient (se fig. 1). Enligt termodynamikens andra huvudsats strömmar värme alltid i riktning mot den lägre temperaturen.värmeledningsförmåga i nanometerområdet mer än någonsin avgörande.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) i Japan svarade redan i början av 90-talet på industrins krav genom att utveckla en "termoreflektansmetod med pulsad ljusuppvärmning". PicoTherm Corporation grundades 2008 med lanseringen av en nano-sekunds termoreflektansapparat "NanoTR" och en pico-sekunds termoreflektansapparat "PicoTR", som möjliggör absoluta mätningar av den termiska diffusiviteten hos tunna filmer i ett tjockleksintervall på flera 10 μm ner till nanometerområdet.
Metod
Termoreflektansmetoder med TidsdomänEn tidsdomänanalys baseras på förändringar i fysiska signaler som är relaterade till tid. En tidsdomängraf visar hur en signal förändras över tiden. När det gäller termoreflektans eller laserblixtmetoden registreras detektorsignalen (spänningsändringen) - åtminstone - under tidsintervallet mellan energitillförseln och signalmaximum (t.ex. RF-läge) eller som en funktion av den förväntade värmediffusionstiden (t.ex. FF-läge).tidsdomän - Laserblixtmetoden för tunna filmer
NanoTRden toppmoderna signalbehandlingstekniken möjliggör höghastighetsmätningar. Med denna termoreflektansapparat bestrålas provet periodiskt (20 μs) med en laserpuls med en pulsbredd på 1 ns.
Den resulterande temperaturresponsen appliceras på en CW-laser (probelaser). Utmärkt s/n-förhållande kan uppnås genom höghastighetsintegrering av repetitiva signaler. Den kan enkelt växlas mellan RF- och FF-konfigurationerna via programvaran för ett stort antal olika prover.
NanoTR är i enlighet med JIS R 1689, JIS R 1690 och SI-spårbar med tunnfilmsstandarden för värmediffusionstid (RM1301-a), som tillhandahålls av AIST.

Specifikationer
| NanoTR | ||
|---|---|---|
| Pump Laser | Pulsbredd Våglängd Stråldiameter | 1 ns 1550 nm 100 μm |
| Sondlaser | Pulsbredd Våglängd Stråldiameter | kontinuerlig 785 nm 50 μm |
| Mätobjekt | Termisk diffusivitetTermisk diffusivitet (a med enheten mm2/s) är en materialspecifik egenskap för att karakterisera instationär värmeledning. Detta värde beskriver hur snabbt ett material reagerar på en temperaturförändring.Termisk diffusivitet och effusivitet, gränsytans motstånd | |
| Provfilm Tjocklek (RF-metod) | Harts keramik metall | 30 nm ... 2 μm 300 nm ... 5 μm 1 μm ... 20 μm |
| Provets filmtjocklek (FF-metod) | Tjockare än 1 μm | |
| Substrat | Material Storlek Tjocklek | Ogenomskinlig/genomskinlig 10 ... 20 mm kvadrat 1 mm max. |
| Termisk diffusivitetTermisk diffusivitet (a med enheten mm2/s) är en materialspecifik egenskap för att karakterisera instationär värmeledning. Detta värde beskriver hur snabbt ett material reagerar på en temperaturförändring.Termisk diffusivitet | Intervall | 0.01 ... 1000 mm²/s |
| Noggrannhet | ± 6,2% med 40 min mättid, för CRM 5808A i RF-läge, 400 nm tjocklek | |
| Repeterbarhet | ± 5% | |
| Programvara | Beräkning av termiska egenskaper, flerskiktsanalys, databas |
Programvara
In-situ-visning och analys av 100.000 skott
Den toppmoderna programvaran för mätning/analys på NanoTR/PicoTR har ett lätthanterligt användargränssnitt som gör det möjligt att exakt bestämma de termiska egenskaperna hos tunna filmer. Laserstrålens fokusering kan justeras med hjälp av programvaran och CCD-bilder kan tas fram.
NanoTR/PicoTR programvaran körs under Microsoft Windows.
Diagrammet visar att en mätkurva kan erhållas på 1 μs mättid.

Få resultat på några minuter

Relaterade enheter

Rådgivning & försäljning
Har du ytterligare frågor om instrumentet eller metoden och vill tala med en försäljningsrepresentant?
Service & Support
Har du redan ett instrument och behöver teknisk support eller reservdelar?








