Глоссарий

Терморефлексия

Терморефлектанс - это метод определения температуропроводности и теплопроводности тонких пленок толщиной в нанометровом диапазоне.

В отличие от обычного метода лазерной вспышки, здесь не используется инфракрасный детектор для измерения повышения температуры образца после короткого лазерного импульса. Вместо этого для генерации измерительного сигнала (изменения напряжения) используется зависящая от температуры отражательная способность поверхности.

Тонкая пленка нагревается коротким лазерным импульсом (лазер накачки). В то же время дополнительный лазер (зондирующий лазер) остается включенным постоянно. Лазерное излучение зондирующего лазера отражается от поверхности пленки на детектор. Абсолютное значение изменения напряжения на детекторе пропорционально изменению температуры поверхности пленки. Расчет модели на основе изменения напряжения (термограммы) позволяет получить время термической диффузии и температуропроводность тонких пленок.

Время термической диффузии (t) зависит от толщины (d) и температуропроводности (a). Возможные диапазоны времени термической диффузии показаны на рисунке 1. Нижний предел для LFA 467, например, составляет ~500 мкс, что сравнимо с медной пластиной толщиной 200 мкм. В противоположность этому PicoTR (пикосекундный терморефлектометр) способен измерить толщину молибденовой пленки в 100 мкм. Для применения в диапазоне между LFA и PicoTRболее экономичный NanoTR (наносекундный терморефлектометр).