Глосар

Терморефлективност

Терморефлексията е метод за определяне на термичната дифузия и термичната проводимост на тънки филми с дебелина в нанометровия диапазон.

За разлика от конвенционалния метод с лазерна светкавица, при него не се използва инфрачервен детектор за измерване на повишаването на температурата в пробата след кратък лазерен импулс. Вместо това за генериране на измервателния сигнал (промяна на напрежението) се използва температурно зависимата отражателна способност на повърхността.

Тънкият филм се нагрява с кратък лазерен импулс (помпен лазер). В същото време допълнителен лазер (лазер на сондата) се оставя включен непрекъснато. Лазерната светлина от сондажния лазер се отразява от повърхността на филма към детектора. Абсолютната стойност на промяната на напрежението в детектора е пропорционална на промяната на температурата на повърхността на филма. Моделното изчисление на базата на промяната на напрежението (термограма) дава време за термична дифузия и термична дифузия на тънки филми.

Времето за термична дифузия (t) зависи от дебелината (d) и термичната дифузия (a). Възможните времеви диапазони на термична дифузия могат да се видят на фигура 1. Долната граница за LFA 467 например е ~500 µs, което е сравнимо с медна плоча с дебелина 200 µm. За разлика от това PicoTR (пикосекунден терморефлекторен апарат) може да измерва молибденов филм с дебелина 100 µm. За приложения в диапазона между LFA и PicoTR, по-рентабилен е NanoTR (наносекунден терморефлекторен апарат).