Energia fotovoltaica

Wafer de silício - Contaminação orgânica

Neste exemplo, um wafer de silício foi medido com o Analisador Térmico Simultâneo STA 449F1 Jupiter®® acoplado ao espectrômetro de massa QMSAëolos® Quadro.

A amostra large (1,6 g) foi colocada em um cadinho de Al2O3 (volume de 5 ml) e aquecida a 800°C a 10 K/min sob ar sintético.
Duas etapas de perda de massa muito small (0,002% e 0,008%) ocorrem antes de 700°C devido à liberação de componentes orgânicos.
Para garantir uma demonstração clara, apenas os números de massa m/z 15, 51 e 78 são apresentados aqui.

Medição STA-MS de uma pastilha de silício; os números de massa m/z 15, 78 e 51 estão correlacionados à etapa de perda de massa entre 500°C e 800°C.