太陽光発電

シリコンウエハー - 有機汚染

この例では、シリコンウェーハを同時熱分析装置 STA 449F1 Jupiter^®® を 質量分析計QMSAëolos^® Quadro.

large 試料（1.6 g）をAl2_O3るつぼ（容積5 ml）に入れ、合成空気下、10 K/分で800℃まで加熱した。
有機成分の放出により、700℃の前に2つの非常にsmall 質量損失ステップ（0.002%と0.008%）が発生する。
明確に示すため、ここでは質量番号m/z 15、51、78のみを示す。