Fotovoltaico

Wafer di silicio - Contaminazione organica

In questo esempio, un wafer di silicio è stato misurato con l'analizzatore termico simultaneo STA49. Analizzatore termico simultaneo STA 449F1 Jupiter®® accoppiato allo spettrometro di massa QMSAëolos® Quadro.

small Il campione large (1,6 g) è stato posto in un crogiolo di Al2O3 (volume 5 ml) e riscaldato a 800°C a 10 K/min in aria sintetica.
Prima dei 700°C si verificano due fasi di perdita di massa (0,002% e 0,008%) dovute al rilascio di componenti organici.
Per garantire una dimostrazione chiara, vengono qui presentati solo i numeri di massa m/z 15, 51 e 78.

Misura STA-MS di un wafer di silicio; i numeri di massa m/z 15, 78 e 51 sono correlati alla fase di perdita di massa tra 500°C e 800°C.