Fotovoltaïsche energie

Silicium wafer - Organische verontreiniging

In dit voorbeeld werd een silicium wafer gemeten met de Simultane thermische analyzer STA 449F1 Jupiter^®^® gekoppeld aan de massaspectrometer QMSAëolos^® Quadro.

Het large monster (1,6 g) werd in een _Al2O3 kroes (volume 5 ml) geplaatst en verhit tot 800°C bij 10 K/min onder synthetische lucht.
Twee zeer small massaverliesstappen (0,002% en 0,008%) treden op vóór 700°C als gevolg van het vrijkomen van organische componenten.
Om een duidelijke demonstratie te garanderen, worden hier alleen de massanummers m/z 15, 51 en 78 gepresenteerd.

Mailing Service Registratie

STA-MS analyse van een silicium wafer toont massaverliesstappen bij 500-800°C, met belangrijke markers bij m/z 15, 51 en 78. — STA-MS meting van een silicium wafer; massanummers m/z 15, 78 en 51 zijn gecorreleerd aan de massaverliesstap tussen 500°C en 800°C.