22.09.2022 by Aileen Sammler
60 vuotta NETZSCH-Gerätebau: LFA-menetelmä ohuille kerroksille
LFA-menetelmää voidaan tyypillisesti käyttää näytteisiin, joiden paksuus on 0,1-6 mm. Elektronisten laitteiden jatkuvasti kehittyvän suunnittelun ja siihen liittyvän tehokkaan lämmönhallinnan vaatimuksen vuoksi on kuitenkin tärkeämpää kuin koskaan saada aikaan tarkkoja mittauksia lämpödiffuusiosta, lämmönjohtavuudesta ja siirtymäkontaktin resistanssista nanometrin alueella. Tällä sovellusalueella materiaalien paksuus vaihtelee 10 nm:stä 2 µm:iin. Ne voivat olla faasimuutosvarastoja, lämpösähköisiä ohutkalvoja, valoa säteileviä diodeja, dielektrisiä rajapintakerroksia tai jopa läpinäkyviä johtavia kalvoja..
Japanilainen PicoTherm Corporation esitteli vuonna 2008 kaksi lämpöheijastinlaitetta NanoTRja PicoTRmarkkinoille. Näillä kahdella laitteella voidaan mitata materiaaleja, joiden paksuus vaihtelee useista 10 nm:stä useisiin 10 µm:iin. Erityisesti 5G-laitteiden kehityksessä valmistajat käyttävät yhä useammin Time Domain Thermoreflectance Method -menetelmää lasersalamamenetelmänä ohuille kalvoille.
Vuonna 2014 NETZSCH Japan K.K., joka on NETZSCH Analyzing & Testing -liiketoimintayksikön tytäryhtiö, tuli PicoTherm Corporationin yksinomaiseksi edustajaksi. Yhdessä LFA-laitteidemme kanssa NETZSCH pystyi nyt tarjoamaan ratkaisun kaikkeen nanometrin alueen ohuista kalvoista millimetrin alueen bulkkimateriaaleihin. Lokakuusta 2020 lähtien PicoTherm Corporation on ollut NETZSCH Japan, K.K.:n 100-prosenttinen tytäryhtiö ja kuuluu siten kokonaan NETZSCH -konserniin.
Tiesitkö? NETZSCH Japan K.K. juhlii tänä vuonna 10-vuotisjuhlaansa!
Lämpimät onnittelumme koko Japanin tiimille, jota johtaa Yoshio Shinoda!
Toimitusjohtajamme NETZSCH Japanissa, herra Shinoda, kertoo meille lisää PicoTR ja NanoTR ja jakaa kokemuksiaan viime vuosien ajalta.
"Vuonna 2022 NETZSCH-Gerätebau GmbH juhlii 60-vuotisjuhlaansa, mutta myös NETZSCH Japanin 10-vuotisjuhlaa! Niin sanotusti kaksinkertainen vuosipäivä yhdessä vuodessa. vuonna 1999 aloitin työni NETZSCH Tokion edustustossa. Tuolloin meillä oli vain 3 työntekijää ja vuosittainen tilausmäärä oli noin 100-200 miljoonaa JPY. Nykyään meillä on yli 45 työntekijää ja myyntiluvut kasvavat tasaisesti.
Lämpöanalyysi oli Japanissa hyvin vakiintunut jo 20 vuotta sitten. LFA 447 NanoFlash avasi oven NETZSCH:lle Japanin markkinoille. Tällä LFA:lla oli suuri etu kilpailijoihin nähden, sillä mittaukset voitiin suorittaa ohuille näytteille nopeasti, mikä vastasi markkinoiden tarpeisiin oikeaan aikaan elektroniikkamateriaalien osalta. Yrityksemme kasvaessa törmäsimme kuitenkin myös nanoteknologian alalla joihinkin sovellustapauksiin, joita emme pystyneet helposti ratkaisemaan silloisella tuotevalikoimallamme. Tutkiessamme asiaa löysimme PicoTherm Corporationin, joka oli tuolloin AIST:n (The National Institute of Advanced Industrial Science and Technology) perustamisvaiheessa oleva yritys, jolla oli jo erinomaisia laitteita näitä sovelluksia varten nimeltään NanoTR/PicoTR. Siitä on lähes 10 vuotta.
Aloitimme välittömästi ensimmäiset neuvottelut tiiviimmästä yhteistyöstä, joka johti PicoTR tuotteiden yksinoikeudelliseen edustukseen vuonna 2014 ja huipentui fuusioon syyskuussa 2020. Nykyään TDTR-tuotteet (Time Domain Thermoreflectance) muodostavat merkittävän osan myyntivolyymistämme.
NanoTR/PicoTR -tuotteiden suurin etu on alun perin NMIJ/AIST:n kehittämän teknologian luotettavuus. Se on ainoa kaupallinen ultraohuiden kalvojen mittausmenetelmä, jonka erinomaisuus voidaan osoittaa sertifioidulla vertailumateriaalilla ja japanilaisen teollisuusstandardin mukaisesti.
NanoTR/PicoTR voi olla oven avaaja nanoteknologiaan NETZSCH!"
Yoshio Shinoda
