22.09.2022 by Aileen Sammler
60 Years ofNETZSCH-Gerätebau：サーモフレクタンス - 薄膜のLFA法
LFA法は通常、厚さ0.1mmから6mmのサンプルに使用できます。しかし、電子機器の設計がますます進歩し、それに伴って効率的な熱管理が求められる中、熱拡散率、熱伝導率、遷移接触抵抗をナノメートル領域まで正確に測定することがこれまで以上に重要になっています。この応用分野では、材料の厚さは10 nmから2 µmに及ぶ。相変化貯蔵、熱電薄膜、発光ダイオード、誘電体界面層、あるいは透明導電膜の形態をとることもあります。.
2008年、日本のピコサームコーポレーションは、2つのサーモフレクタンス装置を発表した。 NanoTR と PicoTR を市場に投入した。この2つの装置により、数10nmから数10µmの厚さ範囲の材料の測定が可能になった。特に5G装置の開発では、薄膜のレーザーフラッシュ法として時間領域熱反射率法を採用するメーカーが増えている。
2014年、NETZSCH アナライジング＆テスティングビジネスユニットの子会社であるNETZSCH ジャパン株式会社は、ピコサーム株式会社の総代理店となりました。当社のLFA装置との組み合わせにより、NETZSCH 、ナノメートル領域の薄膜からミリメートル領域のバルク材料まで、あらゆるソリューションを提供できる体制が整った。2020年10月より、PicoTherm CorporationはNETZSCH Japan, K.K.の100%子会社となり、NETZSCH Groupに完全に属することになりました。
ご存知でしたか？ NETZSCH ジャパン株式会社は今年、設立10周年を迎えます！
篠田良夫氏をはじめとする日本のチーム全員に、心よりお祝いを申し上げます！
NETZSCH ジャパンの篠田社長が、PicoTR とNanoTR について、これまでの経験を交えて語ってくれました。
「2022 年、NETZSCH-Gerätebau GmbH は創立 60 周年を迎えますが、同時にNETZSCH Japan も創立 10 周年を迎えます！いわば1年で2つの記念日を迎えることになる。1999年、私はNETZSCH 東京駐在員事務所で働き始めました。当時、従業員はわずか3名、年間受注額は1億円から2億円程度でしたが、現在では従業員も45名を超え、売上高も順調に伸びています。
日本では20年前、熱分析はすでに確固たる地位を築いていました。NETZSCH が日本市場に参入するきっかけとなったのは、LFA447ナノフラッシュでした。このLFAは、薄いサンプルの測定を短時間で行えるという点で競合製品に対して大きなアドバンテージがあり、電子材料に関する市場のニーズに適切なタイミングで応えることができました。しかし、会社が成長するにつれ、ナノテクノロジーの分野で、当時の製品ポートフォリオでは容易に解決できない応用事例にも遭遇しました。調べてみると、当時産業技術総合研究所（産総研）の新興企業であったピコサーム・コーポレーションが、このような用途のための優れたデバイス「NanoTR/PicoTR 」をすでに持っていることを発見しました。約10年前のことです。
私たちは直ちに、より緊密な協力関係を築くための初期交渉に入り、その結果、2014年にPicoTR 製品の独占代理店となり、2020年9月の合併に至った。現在では、TDTR（Time Domain Thermoreflectance）製品が当社の販売量に大きく貢献しています。
NanoTR/PicoTR の大きな利点は、NMIJ/産総研が独自に開発した技術の信頼性です。超薄膜を測定するための唯一の商業的手法であり、その卓越性は認証標準物質によって実証され、日本の業界標準に準拠しています。
NanoTR/PicoTR は、NETZSCH のためのナノテクノロジーへのドアオープナーになり得る！"
篠田 良夫
