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Thermoréflectance

La ThermoréflectanceLa thermoréflectance est une méthode permettant de déterminer la diffusivité et la conductivité thermiques de films minces d'une épaisseur de l'ordre du nanomètre.thermoréflectance est une méthode permettant de déterminer laDiffusivité thermiqueLa diffusivité thermique (a avec l'unité mm2/s) est une propriété propre au matériau qui permet de caractériser la conduction thermique instable. Cette valeur décrit la rapidité avec laquelle un matériau réagit à un changement de température.diffusivité thermique et la Conductivité thermiqueLa conductivité thermique (λ avec l'unité W/(m-K)) décrit le transport d'énergie - sous forme de chaleur - à travers un corps de masse sous l'effet d'un gradient de température (voir fig. 1). Selon la deuxième loi de la thermodynamique, la chaleur s'écoule toujours dans la direction de la température la plus basse.conductivité thermique de films minces d'une épaisseur de l'ordre du nanomètre.

Contrairement à la méthode classique du flash laser, aucun détecteur infrarouge n'est utilisé pour mesurer l'augmentation de la température de l'échantillon après une brève impulsion laser. Au lieu de cela, la réflectivité d'une surface en fonction de la température est utilisée pour générer le signal de mesure (variation de tension).

Le film mince est chauffé par une courte impulsion laser (laser de pompage). En même temps, un autre laser (laser de sonde) reste allumé en permanence. La lumière du laser de la sonde est réfléchie par la surface du film vers le détecteur. La valeur absolue de la variation de tension dans le détecteur est proportionnelle à la variation de température de la surface du film. Un modèle de calcul basé sur la variation de tension (thermogramme) donne le temps de Diffusivité thermiqueLa diffusivité thermique (a avec l'unité mm2/s) est une propriété propre au matériau qui permet de caractériser la conduction thermique instable. Cette valeur décrit la rapidité avec laquelle un matériau réagit à un changement de température.diffusion thermique et la Diffusivité thermiqueLa diffusivité thermique (a avec l'unité mm2/s) est une propriété propre au matériau qui permet de caractériser la conduction thermique instable. Cette valeur décrit la rapidité avec laquelle un matériau réagit à un changement de température.diffusivité thermique des films minces.

Le temps de Diffusivité thermiqueLa diffusivité thermique (a avec l'unité mm2/s) est une propriété propre au matériau qui permet de caractériser la conduction thermique instable. Cette valeur décrit la rapidité avec laquelle un matériau réagit à un changement de température.diffusion thermique (t) dépend de l'épaisseur (d) et de la Diffusivité thermiqueLa diffusivité thermique (a avec l'unité mm2/s) est une propriété propre au matériau qui permet de caractériser la conduction thermique instable. Cette valeur décrit la rapidité avec laquelle un matériau réagit à un changement de température.diffusivité thermique (a). Les plages de temps de Diffusivité thermiqueLa diffusivité thermique (a avec l'unité mm2/s) est une propriété propre au matériau qui permet de caractériser la conduction thermique instable. Cette valeur décrit la rapidité avec laquelle un matériau réagit à un changement de température.diffusion thermique possibles sont indiquées dans la figure 1. La limite inférieure pour le LFA 467, par exemple, est de ~500 µs, ce qui est comparable à une plaque de cuivre d'une épaisseur de 200 µm. En revanche, la thermoréflexion PicoTR (appareil de ThermoréflectanceLa thermoréflectance est une méthode permettant de déterminer la diffusivité et la conductivité thermiques de films minces d'une épaisseur de l'ordre du nanomètre.thermoréflectance à pico-seconde) est capable de mesurer un film de molybdène d'une épaisseur de 100 µm. Pour les applications se situant entre la LFA et le PicoTRl'appareil de ThermoréflectanceLa thermoréflectance est une méthode permettant de déterminer la diffusivité et la conductivité thermiques de films minces d'une épaisseur de l'ordre du nanomètre.thermoréflectance NanoTR (appareil de ThermoréflectanceLa thermoréflectance est une méthode permettant de déterminer la diffusivité et la conductivité thermiques de films minces d'une épaisseur de l'ordre du nanomètre.thermoréflectance nanoseconde), plus économique.