発生ガス

STA F3 Jupiter® with SKIMMER Furnace

スキマー接続システム 

全てのガス分析が可能な、ユニークな内蔵型カップリングシステム

四重極質量分析計(QMS)へのSKIMMERカップリングシステムは、熱分析の発生ガス分析としては、世界最高感度のものです。カップリング部は、STA 449 F3 Jupiter® の加熱炉内にあります。一段目の減圧ステージは、試料容器の直上に配置されています。オリフィスは、放散ノズルのように作用するよう設計されています。 SKIMMER は、二段目の減圧ステージであり、放散ノズルの後の圧縮エリアを形成する範囲に配置されています。試料と高真空機器との距離は、わずか12 mmにすぎません。 カップリングシステム全体が、試料と同じ温度なので、移動中のガスの凝縮は起こりません。試料エリアのガスの流れが自然対流と同じ上向きで、かつガスの移動距離が短いので、発生ガスは完全に搬送されます。これらの特長により、インターフェース内での発生ガスの滞留時間が短く、極めて感度の高いガス分析が実現されました。

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技術仕様

QMS機種別質量範囲
1 u ~ 300 u
1 u ~ 512 u
電子イオン化(EI)
25 eV – 100 eV (選択可能)
タングステン陰極2個
SKIMMER 温度
試料温度と同じ

質量分解能:
0.5 u

90° SEV
検出限界: 10-14 mbar以上または100 ppb以上

選択可能なSTA 449 F3 Jupiter®の加熱炉タイプ:

1450°C (SiC加熱炉)

1950°C (グラファイト加熱炉)

SKIMMER 材質:

アルミナ (1450°C)

ガラスカーボン  (2000°C)

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