19.06.2023 by Andrew Gillen, Aileen Sammler

南半球初のNETZSCH PicoTR の設置に成功

ウロンゴン大学 オーストラリアのウーロンゴン大学(ウーロンゴン大学)は、優れた教育、学習、研究を提供する世界トップクラスの近代的大学である。超伝導・電子材料研究所(ISEM)は、超伝導・電子材料の科学と技術に関する世界トップクラスの共同研究チームである。

シャオリン・ワン特別教授はISEMを率いている。彼のグループは極限の世界に強い関心を持っている:超薄膜および超高圧環境における材料の特性評価である。2023年6月、NETZSCH Japan, K.K. およびNETZSCH Australia Pty Ltd の同僚とともに、南半球初の熱分析システムを設置した。 PicoTR熱分析システムを導入しました。

NanoTRPicoTR 、薄膜用の熱分析システムとして選ばれています。金属膜、酸化膜、有機膜などの熱物性を高精度で測定できる世界初の分析装置である。

写真ウーロンゴン大学、NETZSCH Japan K.K.の同僚たちとともに、PicoTR (左から:伊藤直子(NJA)、石川和子(NJA)、Dr Jiunn Jieh Lee(NAS)、Dongqi Shi(ISEM)、Andrew Gillen(NAS)、Xiaolin Wang特別教授(ISEM))
境界を押し広げる:画期的な研究により、新素材とデバイスにおける従来にない現象を発見

2022年、ウーロンゴン大学ISEMは、オーストラリア独自の研究施設を設立するための資金援助を受けた:これは、高効率薄膜熱物性分析装置と、超高圧下での材料・デバイス作製および特性評価用ツール一式を組み合わせたものである。

この極めて包括的で汎用性の高いツール群は、トポロジカル絶縁体、超伝導体、スピントロニクス材料、低エネルギー・デバイス、一次元・二次元マイクロ・ナノ材料、電池材料、生体磁性材料における従来にない新現象を発見する画期的な研究を支援するため、オーストラリア国内のみならず世界中で共同研究を促進する。

多くの材料の機能性は、エネルギー生成、バローカル冷却、核融合や宇宙技術における構造材料など、極限条件下での動作能力に決定的に依存している。現在、ファンデルワールス化合物に由来する超薄膜や2次元の新形状材料に大きな注目が集まっている。


NETZSCH は、このような画期的な研究活動の一翼を担えることを嬉しく思います:こうして、2023年6月9日に PicoTRX-Yステージと温度制御システム(-100~500℃)を備えたシステムが、ウーロンゴン大学のISEM(NETZSCH )に設置されました。

日本の産業技術総合研究所(産総研)が開発した熱物性分析装置(NETZSCH )である。 PicoTR熱物性アナライザーは、10nm~1μmの薄膜の熱伝導率、熱拡散率、熱膨張率、層間熱抵抗を測定するために特別に設計されたユニークな装置である。

アプリケーションは以下の通り:

  1. 熱電材料、太陽電池、燃料電池、OLED。
  2. 半導体メモリ、ストレージ、金属、FeRAM、MRAM、PRAM、LSI、パワーデバイス、相変化・磁気記録膜、拡散バリア膜。
  3. LED、セラミック複合材料、エレクトロニクス、絶縁膜用樹脂、FPD用透明導電膜、層間絶縁膜、ゲート絶縁膜
図:提案された実験セットアップ:NETZSCH NanoTR 熱物性測定装置

PicoTRの最先端の信号処理技術により、高速測定が可能です。この熱反射率測定装置では、パルス幅0.5psのレーザーパルスを試料に周期的に照射する。得られた温度応答はパルスレーザー(プローブレーザー)に印加されます。繰り返し信号の高速積分により、優れたs/n比を実現。RFとFFの切り替えはソフトウェアで簡単に行え、様々なサンプルに対応できます。

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