太陽電池
シリコンウエハー -有機物汚染
この例では、シリコンウェーハを同時熱分析装置 STA 449F1 Jupiter®® を 質量分析計QMSAëolos® Quadro.
large 試料(1.6g)をAl2O3のるつぼ(容積5ml)に入れ、合成空気下、10K/分で800℃まで加熱した。
有機成分の放出により、700℃の前に2つの非常にsmall 質量損失ステップ(0.002%と0.008%)が発生する。
明確に示すため、ここでは質量番号m/z 15、51、78のみを示す。

太陽電池
この例では、シリコンウェーハを同時熱分析装置 STA 449F1 Jupiter®® を 質量分析計QMSAëolos® Quadro.
large 試料(1.6g)をAl2O3のるつぼ(容積5ml)に入れ、合成空気下、10K/分で800℃まで加熱した。
有機成分の放出により、700℃の前に2つの非常にsmall 質量損失ステップ(0.002%と0.008%)が発生する。
明確に示すため、ここでは質量番号m/z 15、51、78のみを示す。