太陽電池

シリコンウエハー -有機物汚染

この例では、シリコンウェーハを同時熱分析装置 STA 449F1 Jupiter®®質量分析計QMSAëolos® Quadro.

large 試料(1.6g)をAl2O3のるつぼ(容積5ml)に入れ、合成空気下、10K/分で800℃まで加熱した。
有機成分の放出により、700℃の前に2つの非常にsmall 質量損失ステップ(0.002%と0.008%)が発生する。
明確に示すため、ここでは質量番号m/z 15、51、78のみを示す。

シリコンウエハーのSTA-MS測定。質量番号m/z 15、78、51は、500℃から800℃の間の質量損失ステップに相関する。